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镀膜硅片 Film Wafer
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金属膜层：Metal Film 膜层种类：铝、铜、银、金、钨等 Al,Cu,Ag,Au,W,etc 非金属膜层：Film 氧化片、氮化片、Poly、TEOS等； Oxide,SIN,Poly,TEOS,etc
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